高效过滤器现场安装以后检漏是确认高效过滤器及配套的安装静压箱，没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果高效过滤器

装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的安全可靠的运行，如此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。

高效过滤器安装后的检漏不同于过滤器厂家在工厂里的效率测试。后者仅对过滤器的效率和其它相关性能测试，而前者涉及高效过滤器和安

装过程中相关的多种因素而产生的泄漏。

检漏时，从高效过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在高效过滤器的下风侧进行扫描检漏，以检漏高效过滤器的过滤介质，密封胶过滤器框

架，密封垫片等处有无泄漏。

在检测中，如果室内干扰因素太多，为排除干扰，可在风口出口加隔离罩，在罩内进行检测，这样检测的数据较为准确。

尤其要注意的是，在过滤器和安装框架之间的检漏，可以沿安装框架检漏，也可以送风口箱体断面上检漏，但要排除卷吸气流的干扰，要避

免箱体上的积灰干扰，尤其是采样口不能接触高效风口箱体或过滤器的框架。

在高效过滤器上风侧发 DOP 检漏时，在高效过滤器的上风侧必须设有 DOP 的导入装置及浓度检测管。这两个管子也可以用来检测过滤器

的阻力。

结论

    （1）高效过滤器安装以后必须要进行检漏；

    （2）要计算 DOP 的发尘量及系统风量，确定DOP 导入地点；

    （3）要测量高效过滤器上游的粒子浓度；

    （4）根据规范按 0.5μm 的粒径来检漏，需要确定正确的K值。如果采用不是0.5μm的粒径来检漏，建议可按 ISO14644-3 的标准来确定

 K 值；

    （5）建议采用 28.3 L/min 的粒子计数器来检漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子计数器，必须控制扫描速度。